Műszeres analitika az elektronikai technológiában

A tantárgy angol neve: Instrumental Analytics in Electronics Technology

Adatlap utolsó módosítása: 2011. október 28.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

PhD képzés 
Villamosmérnöki Doktori Iskola 

Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
VIETD223   4/0/0/v 5  
3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Gordon Péter Róbert, Elektronikai Technológia Tanszék
4. A tantárgy előadója
Név: Beosztás: Tanszék, Int.:
Dr. Harsányi Gábor egyetemi tanár ETT
Dr. Pécz Béla MTA dr. MFA
Molnár László Milán adjunktus ETT
5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Fizika, Anyagtudomány

6. Előtanulmányi rend
Ajánlott:
Nincs
7. A tantárgy célkitűzése A tantárgy célja, hogy a hallgatók megismerjék azokat az analitikai módszereket, melyeket az elektronikai technológia terüléten alkalmazott eszközök, alkatrészek és struktúrák topográfiai és anyagösszetétel jellemzőinek meghatározására használhatnak.

A tárgyat teljesítő hallgató képessé válik adott feladathoz a megfelelő analitikai módszer kiválasztására, melyet a módszerrel nyerhető információk és a korlátozó tényezők alapján dönt el.
8. A tantárgy részletes tematikája Topográfiai, szerkezeti vizsgálatok:

 

  • SEM (Scanning Electron Microscope, pásztázó elektron mikroszkóp) [1, 3]
  • TEM (Transmission Electron Microscope, transzmissziós elektron mikroszkóp) [2, 3]
  • AFM (Atomic Force Microscope, atomerő mikroszkóp) [4, 5]
    • Kontakt és nem kontakt mérési módok
    • AFM-hez kapcsolódó egyéb SPM módszerek (pl. Magnetic Force Microscopy, Electrostatic Force Microscopy, stb.)
  • STM (Scanning Tunneling Microscope, pásztázó alagút mikroszkóp) [4, 5]
  • CLSM (Confocal Laser Scanning Microscope, konfokális pásztázó lézer mikroszkóp)
  • Near-field Scanning Optical Microscopy (NSOM) [4]

Összetétel vizsgálatok

 

  • XRF (X-ray Fluorescent Analysis, röntgen fluoreszcens analízis/spektroszkópia) [1, 3]
  • Auger elektron spektroszkópia [3]
  • UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, ultraibolya fotoelektron spektroszkópia) [3]
  • XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy, röntgen fotoelektron spektroszkópia) [3]
  • elektron mikroszonda (WDXS és EDXS – Wavelength/Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, hullámhossz és energia diszperzív röntgen spektroszkópia) [3]
  • XRD (X-ray Diffraction, röntgen diffraktometria) [3]
  • SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
  • SNMS (Secondary Neutral Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
Rezgési spektroszkópiai módszerek (IR, Raman) [5]
9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Heti két alkalommal 2x45 perces előadás
10. Követelmények

a.       A szorgalmi időszakban:

           Egy zárthelyi a 12. héten. Az aláírás feltétele legalább elégséges zárthelyi eredmény.

b.       A vizsgaidőszakban:

          Szóbeli vizsga

11. Pótlási lehetőségek Sikertelen zárthelyi pótlása a pótlási héten. Pót-pót ZH a pótlási héten.
12. Konzultációs lehetőségek Igény szerint, előre egyeztetett időpontban és az előadások közötti szünetekben.
13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

[1]   Pozsgai Imre: A pásztázó elektronmikroszkópia és az elektronsugaras mikroanalízis alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1995

[2]   Pozsgai Imre: Az analítikai elektronmikroszkópia alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1996

[3]   O. Brümmer, J. Heydenreich, K. H. Krebs, H. G. Schneider: Szilárd testek vizsgálata elektronokkal, ionokkal és röntgensugárzással – Műszaki Könyvkiadó, Budapest, 1984

[4]   Paul E. West, Ph.D.: Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice and Applications (pdf-ben)

[5] Bertóti Imre, Marosi György, Tóth András: Műszaki felülettudomány és orvosbiológiai alkalmazásai – B+V Kiadó, 2003

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
Kontakt óra56
Félévközi készülés órákra
Felkészülés zárthelyire34
Házi feladat elkészítése
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása20
Vizsgafelkészülés40
Összesen150
15. A tantárgy tematikáját kidolgozta
Név: Beosztás: Tanszék, Int.:
Dr. Harsányi Gábor egyetemi tanár ETT
Molnár László Milán adjunktus ETT