Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással
    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Műszeres analitika az elektronikai technológiában

    A tantárgy angol neve: Instrumental Analytics in Electronics Technology

    Adatlap utolsó módosítása: 2011. október 28.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar

    PhD képzés 
    Villamosmérnöki Doktori Iskola 

    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    VIETD223   4/0/0/v 5  
    3. A tantárgyfelelős személy és tanszék dr. Gordon Péter Róbert,
    4. A tantárgy előadója
    Név: Beosztás: Tanszék, Int.:
    Dr. Harsányi Gábor egyetemi tanár ETT
    Dr. Pécz Béla MTA dr. MFA
    Molnár László Milán adjunktus ETT
    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

    Fizika, Anyagtudomány

    6. Előtanulmányi rend
    Ajánlott:
    Nincs
    7. A tantárgy célkitűzése A tantárgy célja, hogy a hallgatók megismerjék azokat az analitikai módszereket, melyeket az elektronikai technológia terüléten alkalmazott eszközök, alkatrészek és struktúrák topográfiai és anyagösszetétel jellemzőinek meghatározására használhatnak.

    A tárgyat teljesítő hallgató képessé válik adott feladathoz a megfelelő analitikai módszer kiválasztására, melyet a módszerrel nyerhető információk és a korlátozó tényezők alapján dönt el.
    8. A tantárgy részletes tematikája Topográfiai, szerkezeti vizsgálatok:

     

    • SEM (Scanning Electron Microscope, pásztázó elektron mikroszkóp) [1, 3]
    • TEM (Transmission Electron Microscope, transzmissziós elektron mikroszkóp) [2, 3]
    • AFM (Atomic Force Microscope, atomerő mikroszkóp) [4, 5]
      • Kontakt és nem kontakt mérési módok
      • AFM-hez kapcsolódó egyéb SPM módszerek (pl. Magnetic Force Microscopy, Electrostatic Force Microscopy, stb.)
    • STM (Scanning Tunneling Microscope, pásztázó alagút mikroszkóp) [4, 5]
    • CLSM (Confocal Laser Scanning Microscope, konfokális pásztázó lézer mikroszkóp)
    • Near-field Scanning Optical Microscopy (NSOM) [4]

    Összetétel vizsgálatok

     

    • XRF (X-ray Fluorescent Analysis, röntgen fluoreszcens analízis/spektroszkópia) [1, 3]
    • Auger elektron spektroszkópia [3]
    • UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, ultraibolya fotoelektron spektroszkópia) [3]
    • XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy, röntgen fotoelektron spektroszkópia) [3]
    • elektron mikroszonda (WDXS és EDXS – Wavelength/Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, hullámhossz és energia diszperzív röntgen spektroszkópia) [3]
    • XRD (X-ray Diffraction, röntgen diffraktometria) [3]
    • SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
    • SNMS (Secondary Neutral Mass Spectrometry, szekunder ionemissziós tömegspektroszkópia) [3, 5]
    Rezgési spektroszkópiai módszerek (IR, Raman) [5]
    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Heti két alkalommal 2x45 perces előadás
    10. Követelmények

    a.       A szorgalmi időszakban:

               Egy zárthelyi a 12. héten. Az aláírás feltétele legalább elégséges zárthelyi eredmény.

    b.       A vizsgaidőszakban:

              Szóbeli vizsga

    11. Pótlási lehetőségek Sikertelen zárthelyi pótlása a pótlási héten. Pót-pót ZH a pótlási héten.
    12. Konzultációs lehetőségek Igény szerint, előre egyeztetett időpontban és az előadások közötti szünetekben.
    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

    [1]   Pozsgai Imre: A pásztázó elektronmikroszkópia és az elektronsugaras mikroanalízis alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1995

    [2]   Pozsgai Imre: Az analítikai elektronmikroszkópia alapjai, ELTE Eötvös Kiadó, 1996

    [3]   O. Brümmer, J. Heydenreich, K. H. Krebs, H. G. Schneider: Szilárd testek vizsgálata elektronokkal, ionokkal és röntgensugárzással – Műszaki Könyvkiadó, Budapest, 1984

    [4]   Paul E. West, Ph.D.: Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice and Applications (pdf-ben)

    [5] Bertóti Imre, Marosi György, Tóth András: Műszaki felülettudomány és orvosbiológiai alkalmazásai – B+V Kiadó, 2003

    14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
    Kontakt óra56
    Félévközi készülés órákra
    Felkészülés zárthelyire34
    Házi feladat elkészítése
    Kijelölt írásos tananyag elsajátítása20
    Vizsgafelkészülés40
    Összesen150
    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta
    Név: Beosztás: Tanszék, Int.:
    Dr. Harsányi Gábor egyetemi tanár ETT
    Molnár László Milán adjunktus ETT