Szilárdtest eszközök gyártástechnológiája

A tantárgy angol neve: Technology of Solid State Devices

Adatlap utolsó módosítása: 2009. október 26.

Tantárgy lejárati dátuma: 2012. június 1.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar
Villamosmérnöki Szak, MSc képzés

 

Fényelektromos átalakítók mellékszakirány

 

Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
VIEEM283 2 2/1/0/v 4  
3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Mizsei János,
4. A tantárgy előadója
Dr. Mizsei János

 

Egyetemi tanár

 

Elektronikus Eszközök Tsz

 

Timárné Horváth Veronika

 

c.egyetemi docensElektronikus Eszközök Tsz

 

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Mikroelektronika, Elektronikai technológia

6. Előtanulmányi rend
Ajánlott:
-
7. A tantárgy célkitűzése

Áttekintés adása a szilárdtest eszközök (félvezető eszközök) gyártás technológiáiról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A tárgy alapvető ismereteket nyújt a planáris technológia számos alkalamazásáról a napelemektől kezdve a bonyolultabb áramköri elemek, IC-k, MEMS eszközök és LED-ek kialakítási módjairól.

8. A tantárgy részletes tematikája Előadott anyag:

 

A Si alapú technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, rétegleválasztási, fotolitográfia, fémezési és szerelési műveletek).

A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai.

Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása. Különböző Si alapú érzékelők bemutatása példákon.

Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

Vegyületfélvezetők gyártástechnológiája, lézerek, LED-ek gyártása, minősítése.

Napelemek és nagyüzemi gyártásuk.

Egy egyszerű MOS technológia és egy napelemgyártási technológia konkrét áttekintése.

 

Tantermi gyakorlatok:

 

Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok az IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle szilárdtest eszközökben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei. LED-ek vizsgálata. Napelemek karakterisztikája.

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Előadás, tantermi gyakorlatok, laboratóriumi demonstrációk.

 

10. Követelmények

a.       A szorgalmi időszakban:  Az aláírás feltétele egy zárthelyi dolgozat min. elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.

b.       A vizsgaidőszakban: A tárgy írásbeli vizsgával zárul.

c.       Elővizsga: van

11. Pótlási lehetőségek

A zh pótlására a szemeszter folyamán egy lehetőséget biztosítunk. Sikertelen pótzh-t pótolni a pótlási időszakban lesz lehetőség.

 

 

12. Konzultációs lehetőségek

A tárgy oktatóinál e-mailen történő bejelentkezés alapján.

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

G. S. May, C. J. Spanos: Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control, John Wiley, 2006.

G.E. McGuire: Semiconductor materials and process technology handbook, Noyes Publications, 1988.

Mikroelektronika és technológia, Mojzes Imre szerk., Műegyetemi Kiadó, Bp. 2006

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
Kontakt óra42
Félévközi készülés órákra
Felkészülés zárthelyire20
Házi feladat elkészítése 
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása10
Vizsgafelkészülés48
Összesen120
15. A tantárgy tematikáját kidolgozta
Dr. Mizsei János

 

Egyetemi tanár

 

Elektronikus Eszközök Tsz

 

Timárné Horváth Veronika

 

Egyetemi adjunktus

 

Elektronikus Eszközök Tsz