Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással

    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Mikroelektronikai laboratórium

    A tantárgy angol neve: Microelectronics Laboratory

    Adatlap utolsó módosítása: 2018. november 23.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar
    Villamosmérnöki szak, BSc képzés
    Mikroelektronikai tervezés és gyártás szakirány
    Mikroelektronikai tervezés ágazat
    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    VIEEAC03 6 0/0/3/f 4  
    3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Horváth Péter, Elektronikus Eszközök Tanszéke
    4. A tantárgy előadója

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Dr. Horváth Péter

    adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Plesz Balázs

    egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz

    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít
    • Digitális technika 1
    • Digitális technika 2
    • Mikroelektronika
    • Elektronika 1
    • Mikroelektronikai tervezés
    • Félvezető technológia
    6. Előtanulmányi rend
    Kötelező:
    (Szakirany("AVINmikroterv", _) VAGY
    Szakirany("AVImikro", _)
    VAGY Training.code=("5NAA7") )

    ÉS (TárgyEredmény( "BMEVIEEAC01" , "jegy" , _ ) >= 2
    VAGY TárgyEredmény( "BMEVIEEA328" , "jegy" , _ ) >= 2 )

    ÉS (TárgyEredmény( "BMEVIEEAC02" , "jegy" , _ ) >= 2
    VAGY TárgyEredmény( "BMEVIEEA329" , "jegy" , _ ) >= 2 )

    ÉS NEM ( TárgyEredmény( "BMEVIEEA330" , "jegy" , _ ) >= 2
    VAGY
    TárgyEredmény("BMEVIEEA330", "FELVETEL", AktualisFelev()) > 0 )

    A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

    A kötelező előtanulmányi rendek grafikus formában itt láthatók.

    Ajánlott:

    Ajánlott a Mikroelektronika, a Mikroelektronikai tervezés és a Félvezető technológia tárgyak kreditjének megszerzése.

    7. A tantárgy célkitűzése

    A laboratóriumban egy digitális integrált áramkörtervezési és egy félvezető technológiai gyakorlatsort ajánlunk fel, amelyek között a hallgatók választhatnak. 

    Digitális integrált áramkör tervezése: A félév során a hallgatók feladata egy tanszéki fejlesztésű mikrokontrollerhez illeszthető perifériavezérlő áramkör szintetizálható RTL modelljének elkészítése, funkcionális verifikációja, szintézise és a szintetizált áramkör karakterizálása.

    Félvezető technológiai gyakorlatsor: Egy egyszerű monolit integrált áramkör gyártási lépéseinek a követése a félvezető alapanyag minősítésétől az adalékoláson, az oxidnövesztésen, a fotólitográfiai műveleteken keresztül a lapka tokba szereléséig és ellenőrző méréséig.


    8. A tantárgy részletes tematikája
    Áramkörtervezési ág
    1. hét: A mikrokontroller megismerése, a követelményrendszer értelmezése
    2-3. hét: Rendszertervezés
    4-10. hét: RTL tervezés és funkcionális verifikáció
    11-12. hét: RTL szintézis és karakterizálás
    13-14. hét: Dokumentáció

    Félvezető technológiai ág
    1-11. hét: Integrált áramkör készítése
    o Si szelet előkészítés
    o termikus oxidálás
    o fotolitográfia
    o adalékolás diffuzióval
    o fémréteg felvitele
    o hőkezelések
    12. hét: tokba szerelés
    13. hét: minősítő mérések: az eszközök karakterisztikáinak felvétele
    14. hét: videofilmen ipari kitekintés

    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium)

    Számítógépes vagy technológia laboratóriumi gyakorlat. A tervezési gyakorlat számítógépes laborban történik kétfős csoportokban.

    Az IC készítés esetében a gyakorlatok a tanszéki tiszta térben folynak, ahol minden csoport (4-6 fő) végigvisz egy-egy szilícium szeletet a technológiai lépéssorozaton, minősíti az elvégzett eljárás eredményét, végül beméri a kész áramkört. (A laborműveletek időbeosztását a csoportokkal közös megbeszélés alapján alakítjuk ki.)

    10. Követelmények
    A szorgalmi időszakban: A tárgy félévközi jeggyel zárul. A jegy megadásának feltétele a félév során kiadott feladatok legalább elégséges szintű megoldása. A félévközi jegyet a végzett munka és a beadott feladatok alapján adjuk.
    Áramkörtervezési ág
    o A mikrokontroller ismeretét felmérő zárthelyi elégséges szintű teljesítése
    o Rendszerterv
    o RTL modell és verifikációs környezet(ek)
    o Szintézis eredmények és karakterizáció
    o Felhasználói dokumentáció
    Félvezető technológiai ág
    o Valamennyi technológiai lépés hiánytalan végigvitele, jegyzőkönyv leadása.
    o A mérési aktivitást és a jegyzőkönyveket osztályozzuk, és minthogy a mérés nem pótolható, ezért az osztályzatok kialakításánál a megszerzett osztályzatok legjobb kétharmadát vesszük figyelembe (öt jegyből a három legjobb).

    11. Pótlási lehetőségek

    A kiadott feladatok késedelmes bemutatására a pótlási időszak végéig van lehetőség.

    12. Konzultációs lehetőségek

    Az előadókkal történő egyeztetés alapján.

    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

    ·        Tanszéki elektronikus jegyzetek a tanszéki tanulmányi felületről (eBook kompatibilis formában is)

    14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

    Kontakt óra

    42

    Készülés előadásokra

    0

    Készülés gyakorlatokra

    0

    Készülés laborra

    68

    Készülés zárthelyire

    10

    Házi feladat elkészítése

    0

    Önálló tananyag-feldolgozás

    0

    Vizsgafelkészülés

    0

    Összesen

    120

    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

     

    Dr. Horváth Péter

    adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Plesz Balázs

    egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz


    IMSc tematika és módszer Az IMSc hallgatók, valamint a téma iránt érdeklődők a kötelező feladatokon túl egy nagy, összetett feladatot kapnak, melynek elkészítésével tovább mélyíthetik a tárgyban megszerzett tudásukat. A feladat a laborfoglalkozások keretén belül oldható meg.
    IMSc pontozás A pluszfeladat elvégzéséért, és az erről szóló jegyzőkönyv leadásáért a hallgatók 20 IMSc pontot kaphatnak. A pluszfeladat részleges megvalósítása esetén a megszerezhető IMSc pontok arányos része jár, a megvalósítás színvonalára adott osztályzattal súlyozva. A feladatra kapott elégtelen osztályzat esetén nem jár IMSc pont. Az IMSc pontok megszerzése a programban nem résztvevő hallgatók számára is biztosított, azonban a tárgy kreditjének megszerzéséhez kötött.