Monolit technika

A tantárgy angol neve: Microeletronics Technology

Adatlap utolsó módosítása: 2014. április 29.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

Villamosmérnöki Szak

Mikroelektronika és elektronikai technológia szakirány,  

Mikroelektronika szakág

Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
VIEEA329 6 3/1/0/v 4  
3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Kerecsen Istvánné,
4. A tantárgy előadója

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Dr. Mizsei János

Egyetemi Tanár

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr. Zólomy Imre

Egyetemi Tanár

Elektronikus Eszközök Tsz

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Mikroelektronika  

6. Előtanulmányi rend
Kötelező:
(Szakirany("AVIelektro", _) VAGY
Szakirany("AVImikro", _) )


ÉS NEM ( TárgyEredmény( "BMEVIEEAC02" , "jegy" , _ ) >= 2
VAGY
TárgyEredmény("BMEVIEEAC02", "FELVETEL", AktualisFelev()) > 0)

A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

A kötelező előtanulmányi rendek grafikus formában itt láthatók.

Ajánlott:

Mikroelektronika  

7. A tantárgy célkitűzése

Áttekintés adása a monolit félvezető technológiákról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A monolit áramkörök szerkezetének ismerete segít a megfelelő eszközök kiválasztásában, gyártási lépéseinek ismerete pedig segit a fejlesztési igények megfogalmazásában.

8. A tantárgy részletes tematikája

Az előadott anyag

Monolit technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, ionimplantációs, rétegleválasztási, fotolitográfiai, fémezési és szerelési műveletek).

A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai

Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása.

Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

Tantermi gyakorlatok:

Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok a monolit IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle monolit szerkezetekben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei.

 

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Előadás, tantermi gyakorlatok, laboratóriumi demonstrációk.
10. Követelmények

a. A szorgalmi időszakban: az előadások 70%-án való részvétel a félév végi aláírás feltétele, ezt katalógus tartásával ellenőrizzük. A gyakorlati foglalkozások összóraszámának 30%-át meghaladó hiányzás esetén a tantárgy kreditpontja nem szerezhető meg. Az aláírás feltétele továbbá egy zárthelyi dolgozat elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.

b. A vizsgaidőszakban:

c. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát

11. Pótlási lehetőségek

A TVsz szerint.

12. Konzultációs lehetőségek

E-mailen történő bejelentkezés alapján.

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom -
14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
Kontakt óra56
Félévközi készülés órákra14
Felkészülés zárthelyire8
Házi feladat elkészítése 
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása10
Vizsgafelkészülés32
Összesen120
15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Dr. Mizsei János

Egyetemi tanár

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr. Zólomy Imre

Egyetemi tanár

Elektronikus Eszközök Tsz