Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással

    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Monolit technika

    A tantárgy angol neve: Microeletronics Technology

    Adatlap utolsó módosítása: 2014. április 29.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar

    Villamosmérnöki Szak

    Mikroelektronika és elektronikai technológia szakirány,  

    Mikroelektronika szakág

    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    VIEEA329 6 3/1/0/v 4  
    3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Kerecsen Istvánné, Elektronikus Eszközök Tanszéke
    4. A tantárgy előadója

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Dr. Mizsei János

    Egyetemi Tanár

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Zólomy Imre

    Egyetemi Tanár

    Elektronikus Eszközök Tsz

    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

    Mikroelektronika  

    6. Előtanulmányi rend
    Kötelező:
    (Szakirany("AVIelektro", _) VAGY
    Szakirany("AVImikro", _) )


    ÉS NEM ( TárgyEredmény( "BMEVIEEAC02" , "jegy" , _ ) >= 2
    VAGY
    TárgyEredmény("BMEVIEEAC02", "FELVETEL", AktualisFelev()) > 0)

    A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

    A kötelező előtanulmányi rendek grafikus formában itt láthatók.

    Ajánlott:

    Mikroelektronika  

    7. A tantárgy célkitűzése

    Áttekintés adása a monolit félvezető technológiákról, részint az alkalmazás, részint a megvalósítás szemszögéből. A monolit áramkörök szerkezetének ismerete segít a megfelelő eszközök kiválasztásában, gyártási lépéseinek ismerete pedig segit a fejlesztési igények megfogalmazásában.

    8. A tantárgy részletes tematikája

    Az előadott anyag

    Monolit technológia alaplépései (alapanyag előállítása és minősítése, tisztítási, oxidnövesztési, diffúziós, ionimplantációs, rétegleválasztási, fotolitográfiai, fémezési és szerelési műveletek).

    A méretcsökkentés hatásai és technológiai vonatkozásai

    Monolit technológiával realizálható eszközök és áramkörtípusok (diszkrét bipoláris és MOS eszközök, teljesítmény eszközök, IGBT), integrált bipoláris, MOS és BiCMOS áramkörök, analóg és digitális integrált áramkörök, processzorok (katalógus IC, fogyasztói tervezésű és FPGA áramkörök), memóriák (ROM, PROM, EPROM, SRAM, DRAM).

    Bevezetés a MEMS eszközök világába; érzékelők és beavatkozók működése és megvalósítása.

    Az intelligens környezet hardver elemeinek megvalósítási lehetőségei. Érzékelők és jeleik feldolgozása. Öntápláló szenzorok: az energia kinyerés lehetőségei a környezetből.

    Tantermi gyakorlatok:

    Nagyságrendek, koncentrációk, méretviszonyok a monolit IC technikában. Adalékolások, fajlagos ellenállások, potenciálok különféle monolit szerkezetekben, C-V görbe kiértékelési gyakorlat (adalékolás, felületi és határfelületi jellemzők számítása pn átmenet, illetve MOS rendszer C-V görbéiből).

    IC és MEMS layout és szerkezet elemzés, VLSI áramkörök jellegzetes alkatrész elrendezési elvei.

     

    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) Előadás, tantermi gyakorlatok, laboratóriumi demonstrációk.
    10. Követelmények

    a. A szorgalmi időszakban: az előadások 70%-án való részvétel a félév végi aláírás feltétele, ezt katalógus tartásával ellenőrizzük. A gyakorlati foglalkozások összóraszámának 30%-át meghaladó hiányzás esetén a tantárgy kreditpontja nem szerezhető meg. Az aláírás feltétele továbbá egy zárthelyi dolgozat elégségesre való megírása. A zárthelyi osztályzata a vizsgajegy kerekítését befolyásolja.

    b. A vizsgaidőszakban:

    c. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát

    11. Pótlási lehetőségek

    A TVsz szerint.

    12. Konzultációs lehetőségek

    E-mailen történő bejelentkezés alapján.

    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom -
    14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
    Kontakt óra56
    Félévközi készülés órákra14
    Felkészülés zárthelyire8
    Házi feladat elkészítése 
    Kijelölt írásos tananyag elsajátítása10
    Vizsgafelkészülés32
    Összesen120
    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Dr. Mizsei János

    Egyetemi tanár

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Zólomy Imre

    Egyetemi tanár

    Elektronikus Eszközök Tsz