Monolit integrált áramkörök készítése

A tantárgy angol neve: Manufacturing Monolithic Integrated Circuits

Adatlap utolsó módosítása: 2008. augusztus 29.

Tantárgy lejárati dátuma: 2009. november 24.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

Villamosmérnöki Szak

Választható tárgy

Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
VIEE9355 6, 8 2/0/0/v 3 1/1
3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Mizsei János,
A tantárgy tanszéki weboldala http://www.eet.bme.hu/~timarne/viee9355/
4. A tantárgy előadója

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Timárné Horváth Veronika

Egyetemi adjunktus

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr. Mizsei János

Egyetemi docens

Elektronikus Eszközök Tsz.

5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

Elektronikai technológia, Elektronika

6. Előtanulmányi rend
Ajánlott:

Tematikaütközés miatt a tárgyat csak azok vehetik fel, akik korábban nem hallgatták a következő tárgyakat:

7. A tantárgy célkitűzése

A monolit IC technológia alapvető eljárásainak elméleti és gyakorlati bemutatása a lehető legegyszerűbb formában úgy, hogy a teljes technológiai folyamat viszonylag rövid idő alatt (7x4 labor óra) áttekinthető, és végigvihető legyen

8. A tantárgy részletes tematikája

Monolit IC készítése: Si szelet előkészítés, termikus oxidálás, fotolitográfia, diffúzió, fémréteg felvitele, hőkezelések, tokba szerelés, minősítő mérések: az eszközök karakterisztikáinak felvétele. Videofilmen ipari kitekintés.

9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium)

Folyamatos előadás mellett minden csoport (4-6 fő) végigvisz egy-egy szilícium szeletet a technológiai lépéssorozaton, ahol lehetséges, minősíti az elvégzett eljárás eredményét, végül beméri a kész áramkört. (A laborműveletek időbeosztását a csoportokkal közös megbeszélés alapján alakítjuk ki).

10. Követelmények
  1. A szorgalmi időszakban:
  2. Valamennyi technológiai lépés hiánytalan végigvitele, jegyzőkönyv leadása.

2.  A vizsgaidőszakban:

A tárgy vizsgajeggyel zárul, melyet írásbeli vizsgán lehet megszerezni.

3. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát

 

11. Pótlási lehetőségek

Elmaradt technológiai lépés pótlására rendkívüli esetben más csoportba való becsatlakozással lesz lehetőség. A vizsgaidőszakban az elmaradt művelet pótlása nem lehetséges.

12. Konzultációs lehetőségek

Az előadóval történő egyeztetés alapján folyamatos konzultációs lehetőséget biztosítunk

13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

Kéziratos segédanyagok, mérési útmutató

Dr. Erlaky György: Integrált áramkörök technológiája és konstrukciója II. Műegyetemi kiadó, 1994. 51170.

Mikroelektronika és elektronikai technológia

Dr. Mojzes Imre (szerk.) Műszaki Könyvkiadó, 1994.

14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

 

Kontakt óra

30

Félévközi készülés órákra

15

Felkészülés zárthelyire

 

Házi feladat elkészítése

 

Kijelölt írásos tananyag elsajátítása

15

..

 

Vizsgafelkészülés

30

Összesen

90

15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

Név:

Beosztás:

Tanszék, Int.:

Timárné Horváth Veronika

Egyetemi adjunktus

Elektronikus Eszközök Tsz

Dr.Mizsei János

Egyetemi docens

Elektronikus Eszközök Tsz.