Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással
    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Monolit integrált áramkörök készítése

    A tantárgy angol neve: Manufacturing Monolithic Integrated Circuits

    Adatlap utolsó módosítása: 2008. augusztus 29.

    Tantárgy lejárati dátuma: 2009. november 24.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar

    Villamosmérnöki Szak

    Választható tárgy
    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    VIEE9355 6, 8 2/0/0/v 3 1/1
    3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Mizsei János,
    A tantárgy tanszéki weboldala http://www.eet.bme.hu/~timarne/viee9355/
    4. A tantárgy előadója

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Timárné Horváth Veronika

    Egyetemi adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr. Mizsei János

    Egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz.

    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít

    Elektronikai technológia, Elektronika

    6. Előtanulmányi rend
    Ajánlott:

    Tematikaütközés miatt a tárgyat csak azok vehetik fel, akik korábban nem hallgatták a következő tárgyakat:

    7. A tantárgy célkitűzése

    A monolit IC technológia alapvető eljárásainak elméleti és gyakorlati bemutatása a lehető legegyszerűbb formában úgy, hogy a teljes technológiai folyamat viszonylag rövid idő alatt (7x4 labor óra) áttekinthető, és végigvihető legyen

    8. A tantárgy részletes tematikája

    Monolit IC készítése: Si szelet előkészítés, termikus oxidálás, fotolitográfia, diffúzió, fémréteg felvitele, hőkezelések, tokba szerelés, minősítő mérések: az eszközök karakterisztikáinak felvétele. Videofilmen ipari kitekintés.

    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium)

    Folyamatos előadás mellett minden csoport (4-6 fő) végigvisz egy-egy szilícium szeletet a technológiai lépéssorozaton, ahol lehetséges, minősíti az elvégzett eljárás eredményét, végül beméri a kész áramkört. (A laborműveletek időbeosztását a csoportokkal közös megbeszélés alapján alakítjuk ki).

    10. Követelmények
    1. A szorgalmi időszakban:

    2. Valamennyi technológiai lépés hiánytalan végigvitele, jegyzőkönyv leadása.

    2.  A vizsgaidőszakban:

    A tárgy vizsgajeggyel zárul, melyet írásbeli vizsgán lehet megszerezni.

    3. Elővizsga: a tárgyból tartunk elővizsgát

     

    11. Pótlási lehetőségek

    Elmaradt technológiai lépés pótlására rendkívüli esetben más csoportba való becsatlakozással lesz lehetőség. A vizsgaidőszakban az elmaradt művelet pótlása nem lehetséges.

    12. Konzultációs lehetőségek

    Az előadóval történő egyeztetés alapján folyamatos konzultációs lehetőséget biztosítunk

    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom

    Kéziratos segédanyagok, mérési útmutató

    Dr. Erlaky György: Integrált áramkörök technológiája és konstrukciója II. Műegyetemi kiadó, 1994. 51170.

    Mikroelektronika és elektronikai technológia

    Dr. Mojzes Imre (szerk.) Műszaki Könyvkiadó, 1994.

    14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka

     

    Kontakt óra

    30

    Félévközi készülés órákra

    15

    Felkészülés zárthelyire

    		 

    Házi feladat elkészítése

    		 

    Kijelölt írásos tananyag elsajátítása

    15

    ..

    		 

    Vizsgafelkészülés

    30

    Összesen

    90

    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta

    Név:

    Beosztás:

    Tanszék, Int.:

    Timárné Horváth Veronika

    Egyetemi adjunktus

    Elektronikus Eszközök Tsz

    Dr.Mizsei János

    Egyetemi docens

    Elektronikus Eszközök Tsz.