Mikro- és nanotechnológiák

A tantárgy angol neve: Microtechnology and Nanotechnology

Adatlap utolsó módosítása: 2008. november 4.

Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Villamosmérnöki és Informatikai Kar

Villamosmérnöki Szak

Műszaki Informatika Szak

Választható tárgy

Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
TE12AF08   2/0/0/f 2  
3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Kiss Gábor,
4. A tantárgy előadója dr. Kiss Gábor egyetemi docens.
5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít (Kísérleti) fizika.
6. Előtanulmányi rend
Kötelező:
//(TargyEredmeny("BMETE11AF05", "jegy", _) >= 2 ÉS TargyEredmeny("BMETE13AF04", "jegy", _) >= 2)
//VAGY (TargyEredmeny("BMETE112035", "jegy", _) >= 2 ÉS TargyEredmeny("BMETE131072", "jegy", _) >= 2)
//VAGY
KépzésLétezik("9N-MF09") VAGY KépzésLétezik("4N-M%") VAGY KépzésLétezik("4N-A%")

A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

A kötelező előtanulmányi rendek grafikus formában itt láthatók.

7. A tantárgy célkitűzése Mikro- és nanotechnológiai alapismeretek elsajátítása.
8. A tantárgy részletes tematikája
  1. Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.
  2. Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).
  3. Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció).
  4. Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
  5. Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras).
  6. Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
  7. Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor.
  8. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
  9. Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők.
  10. Molekuláris nanotechnológia.
9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) előadás
10. Követelmények

A szorgalmi időszakban: 2 zárthelyi, melyek alapján a hallgató félévközi jegyet kap. Előadások látogatása.

A vizsgaidőszakban: –

Elővizsga: –

11. Pótlási lehetőségek 1 pótzárthelyi.
12. Konzultációs lehetőségek Oktatóval egyeztetve igény szerint.
13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.
C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Technology, McGrew Hill, 1996.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and information technology, Wiley-VCH, 2003.
14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
Kontakt óra28
Félévközi készülés órákra14
Felkészülés zárthelyire18
Házi feladat elkészítése0
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása0
Vizsgafelkészülés0
Összesen60
15. A tantárgy tematikáját kidolgozta dr. Kiss Gábor egyetemi docens.