Budapest University of Technology and Economics, Faculty of Electrical Engineering and Informatics

    Belépés
    címtáras azonosítással

    vissza a tantárgylistához   nyomtatható verzió    

    Mikro- és nanotechnológiák

    A tantárgy angol neve: Microtechnology and Nanotechnology

    Adatlap utolsó módosítása: 2008. november 4.

    Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
    Villamosmérnöki és Informatikai Kar

    Villamosmérnöki Szak

    Műszaki Informatika Szak

    Választható tárgy

    Tantárgykód Szemeszter Követelmények Kredit Tantárgyfélév
    TE12AF08   2/0/0/f 2  
    3. A tantárgyfelelős személy és tanszék Dr. Kiss Gábor,
    4. A tantárgy előadója dr. Kiss Gábor egyetemi docens.
    5. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít (Kísérleti) fizika.
    6. Előtanulmányi rend
    Kötelező:
    //(TargyEredmeny("BMETE11AF05", "jegy", _) >= 2 ÉS TargyEredmeny("BMETE13AF04", "jegy", _) >= 2)
    //VAGY (TargyEredmeny("BMETE112035", "jegy", _) >= 2 ÉS TargyEredmeny("BMETE131072", "jegy", _) >= 2)
    //VAGY
    KépzésLétezik("9N-MF09") VAGY KépzésLétezik("4N-M%") VAGY KépzésLétezik("4N-A%")

    A fenti forma a Neptun sajátja, ezen technikai okokból nem változtattunk.

    A kötelező előtanulmányi rendek grafikus formában itt láthatók.

    7. A tantárgy célkitűzése Mikro- és nanotechnológiai alapismeretek elsajátítása.
    8. A tantárgy részletes tematikája
    1. Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.
    2. Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).
    3. Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció).
    4. Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
    5. Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras).
    6. Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
    7. Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor.
    8. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
    9. Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők.
    10. Molekuláris nanotechnológia.
    9. A tantárgy oktatásának módja (előadás, gyakorlat, laboratórium) előadás
    10. Követelmények

    A szorgalmi időszakban: 2 zárthelyi, melyek alapján a hallgató félévközi jegyet kap. Előadások látogatása.

    A vizsgaidőszakban: –

    Elővizsga: –

    11. Pótlási lehetőségek 1 pótzárthelyi.
    12. Konzultációs lehetőségek Oktatóval egyeztetve igény szerint.
    13. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom
    Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995.
    C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Technology, McGrew Hill, 1996.
    R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and information technology, Wiley-VCH, 2003.
    14. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka
    Kontakt óra28
    Félévközi készülés órákra14
    Felkészülés zárthelyire18
    Házi feladat elkészítése0
    Kijelölt írásos tananyag elsajátítása0
    Vizsgafelkészülés0
    Összesen60
    15. A tantárgy tematikáját kidolgozta dr. Kiss Gábor egyetemi docens.